TESCAN GAIA3电镜系统完美的集成了超高分辨率的电子光学系统和高性能的离子束系统，二者配置于同一样品室上。GAIA3电镜以MAIA3场发射扫描电镜为平台，在保留MAIA3优越性能的基础上，增加了使用聚焦离子束进行样品表面处理的功能。

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